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HYDAC傳感器中壓力傳感器*秀

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賀德克壓力傳感器主要是利用彈性敏感元件和應(yīng)變計將被測壓力轉(zhuǎn)換為相應(yīng)電阻值變化的壓力傳感器。
按照彈性敏感元件結(jié)構(gòu)的不同,賀德克壓力傳感器大致可分為應(yīng)變管式、膜片式、應(yīng)變梁式和組合式4種。下面分別就4種賀德克壓力傳感器分別作介紹。
1)賀德克壓力傳感器應(yīng)變管式
又稱應(yīng)變筒式。它的彈性敏感元件為一端封閉的薄壁圓筒，其另一端帶有法蘭與被測系統(tǒng)連接。在筒壁上貼有2片或4賀德克壓力傳感器片應(yīng)變片，其中一半貼在實心部分作為溫度補償片,另一半作為測量應(yīng)變片。當沒有壓力時 4片應(yīng)變片組成平衡的全橋式電路;當壓力作用于內(nèi)腔時,圓筒變形成“腰鼓形”,使電橋失去平衡,輸出與壓力成一定關(guān)系的電壓。這種傳感器還可以利用活塞將被測壓力轉(zhuǎn)換為力傳遞到應(yīng)變筒上或通過垂鏈形狀的膜片傳遞被測壓力。應(yīng)變管式壓力傳感器的結(jié)構(gòu)簡單、制造方便、適用性強賀德克壓力傳感器，在火箭彈、炮彈和火炮的動態(tài)壓力測量方面有廣泛應(yīng)用。
2)賀德克壓力傳感器膜片式
它的彈性敏感元件為周邊固定圓形金屬平膜片。膜片受壓力變形時，中心處徑向應(yīng)變和切向應(yīng)變均達到正的zui大值，賀德克壓力傳感器而邊緣處徑向應(yīng)變達到負的zui大值，切向應(yīng)變?yōu)榱?。因此常把兩個應(yīng)變片分別貼在正負zui大應(yīng)變處，并接成相鄰橋臂的半橋電路以獲得較大靈敏度和溫度補償作用。采用圓形箔式應(yīng)變計則能zui大限度地利用膜片的應(yīng)變效果。這種傳感器的非線性較顯著。膜片式壓力傳感器的產(chǎn)品是將彈性敏感元件和應(yīng)變片的作用集于單晶硅膜片一身，即采用集成電路工藝在單晶硅膜片上擴散制作電阻條，并采用周邊固定結(jié)構(gòu)制成的固態(tài)壓力傳感器。
3)賀德克壓力傳感器應(yīng)變梁式
測量較小壓力時，可采用固定梁或等強度梁的結(jié)構(gòu)。一種方法是用膜片把壓力轉(zhuǎn)換為力再通賀德克壓力傳感器過傳力桿傳遞給應(yīng)變梁。兩端固定梁的zui大應(yīng)變處在梁的兩端和中點，應(yīng)變片就貼在這些地方。這種結(jié)構(gòu)還有其他形式，例如可采用懸梁與膜片或波紋管構(gòu)成。
4)賀德克壓力傳感器組合式
在組合式應(yīng)變壓力傳感器中，彈性敏感元件可分為感受元件和彈性應(yīng)變元件。感受賀德克壓力傳感器元件把壓力轉(zhuǎn)換為力傳遞到彈性應(yīng)變元件應(yīng)變zui敏感的部位，而應(yīng)變片則貼在彈性應(yīng)變元件的zui大應(yīng)變處。實際上較復(fù)雜的應(yīng)變管式和應(yīng)變梁式都屬于這種型式。感受元件有膜片、膜盒、波紋管、波登管等，彈賀德克壓力傳感器性應(yīng)變元件有懸臂梁、固定梁、Π形梁、 環(huán)形梁、薄壁筒等。它們之間可根據(jù)不同需要組合成多種型式。 賀德克壓力傳感器主要用來測量流動介質(zhì)動態(tài)或靜態(tài)壓力，例如動力管道設(shè)備的進出口氣體或液體的壓力、內(nèi)燃機管道壓力等等。

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